ASML CEO 푸케 'EUV 경쟁자 없다'… 중국 리버스엔지니어링 부인·Substrate·xLight 평가, high-NA로 wafer 비용 20·30% 절감

네덜란드에 본사를 둔 42년 된 4만 4,000명 규모의 회사 ASML이 매년 €45억(45억 유로)을 기술 발전에 투입하고 있다. ASML은 EUV(극자외선) 리소그래피 머신을 만드는 세계 유일의 기업으로, 해당 장비는 학교 버스 크기에 수개월의 조립 기간과 수백 곳의 공급업체가 동원되며 세대에 따라 대당 2억 달러에서 4억 달러 이상에 거래된다.

이 사실상의 독점이 ASML을 시가총액 5,300억 달러로 유럽 최대 가치의 회사로 만들었다. 미국 4대 빅테크인 마이크로소프트, 메타, 아마존, 구글이 올해만 6,000억 달러를 AI 인프라에 투자하기로 약속하면서 ASML 머신 수요는 폭증했고, 회사 측은 '향후 수년간 세계가 칩 부족에 시달릴 것'이라는 입장을 공개적으로 밝혔다.

2024년 ASML CEO에 오른 Christophe Fouquet는 화요일 아침 비버리힐스 호텔 옥상 데크에서 진행된 인터뷰에서 'AI 폭발을 예측했느냐'는 질문에 '전혀 그러지 못했다'며 'ChatGPT가 첫 번째 좋은 사례였고 지금은 산업적뿐 아니라 사회적 다음 혁명으로 보고 있다'고 말했다. Milken Institute Global Conference 참석을 앞둔 자리였다.

공급망이 수요를 따라잡을 수 있느냐는 질문에 푸케는 '상당 기간 시장 전반이 공급 제약 상태일 것'이라며 '현재 가장 큰 병목은 칩 제조에 있고, 장비 공급사인 ASML은 고객을 따라가야 한다'고 답했다. 이어 '하이퍼스케일러들에게 물어보면 향후 2년, 3년, 5년간 충분한 칩을 받지 못할 것이라고 답할 것'이라고 전했다.

TSMC가 최신 머신이 너무 비싸다고 발언한 데 대해서는 'EUV 시스템은 가격 자체로는 저NA 시스템보다 비싸지만, 일부 첨단 레이어에서는 wafer 제작 비용이 더 싸진다. 20%, 30% 비용 감소를 얻을 수 있다'고 반박했다. high-NA EUV는 ASML의 신세대 장비로 대당 3억 5,000만 달러 이상이며, 더 미세한 패턴을 인쇄할 수 있다.

Peter Thiel의 후원을 받은 샌프란시스코 스타트업 Substrate가 ASML 경쟁 리소그래피 머신을 만들 수 있다고 주장하며 1억 달러 이상을 모금하고 10억 달러 이상의 기업 가치를 인정받은 데 대해 푸케는 '갖고 싶은 것과 갖는 것은 큰 차이'라며 'EUV 빛을 얻는 문제 하나만 해결하는 데 20년이 걸렸고, ASML이 EUV 머신을 만들 수 있었던 것은 80%가 이전 지식과 제품을 기반으로 했기 때문'이라고 일축했다. 그는 '30년 전 첫 EUV 이미지를 얻었지만 양산 시스템으로 만들기까지 또다시 20년의 노력이 필요했다'고 덧붙였다.

미국 정부의 일부 지원을 받는 레이저 스타트업 xLight에 대해서는 'EUV 머신의 한 요소인 광원에 집중하고 있다. 우리가 가진 광원은 앞으로 수년간 확장 가능하고 스케일링 방법도 안다. xLight가 만드는 새 광원은 아직 만들어지고 검증돼야 한다'며 '성능이나 비용 우위를 제공하는지 아직 결론이 나지 않았다. 우리는 그들이 기술을 시연할 수 있도록 협력 중이며 이는 우리 측 책임이라고 본다'고 평가했다.

전직 ASML 엔지니어들이 중국에서 머신을 일부 리버스엔지니어링했다는 보도에 대해 푸케는 단호히 부인했다. 그는 '리버스엔지니어링하려면 먼저 머신이 있어야 한다. 중국에는 EUV 머신이 없다. 우리는 그곳에 어떤 도구도 출하한 적이 없다'며 '출하한 모든 도구는 어디 있는지 알고 있다. 고객 사용 중이거나 분해돼 우리에게 돌아왔다'고 강조했다.

푸케는 또한 수출 통제 도입 초기부터 EUV 기술·문서·교육 접근권을 가진 인력과 그렇지 않은 인력을 회사 내부에서 완전히 분리해 운영해왔다고 밝혔다. '중국 팀은 그 경계의 반대편에 있다'며 '중국에 EUV 기술이 수출된 적이 없으므로 중국에 EUV 교육을 받은 인력도 없다'고 말했다.

수출 통제와 관련해 엔비디아의 젠슨 황이 전날 밤 '기업이 글로벌 판매를 해야 더 많은 매출이 본국 세수로 돌아오며, 가장 좋은 최신 기술은 본국 가까이에 두는 것이 중요하다'고 발언한 데 대해 푸케는 '전적으로 옳다'며 '엔비디아는 몇 세대 뒤의 칩을 판매하는 방식으로 기술적 우위를 유지하고 있다'고 평가했다.